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RTP快速升降溫退火爐

添加時間:2017-07-06   文章来自:xianmojina
RTP快速升降溫退火爐  的詳細介紹
RTP快速升降溫退火爐 MXG1200-150-SL-RTP
   開啓式RTP快速升降溫退火爐,是由我公司自主研發的高性能熱處理設備。本產品採用國際先進製造工藝,造型新穎結構合理,爐體上下兩半設計,可自由打開閉合,***可靠,爐管外徑150mm,爐膛採用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型,表面塗有高反射率高溫保護塗層,既能降低熱量損耗,還能提高爐內溫度穩定性。試驗樣品放置於密封的石英管內,內部潔淨度高,可降低間接污染的可能。已廣泛用於半導體器件研發及等領域,該系統可滿足離子注入後的快速退火,也可用於歐姆接觸快速合金,還可用於硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。本產品採用紅外加熱,升溫速度快達30℃/S,爐體下部配有軌道,可左右移動至底部風扇處,以達到快速冷卻的目的。
技术参数
项目 主要技术指标 数据
规格型号 MXG1200-150-SL-RTP
温度控制 温度点 1200℃
额定温度 1100℃
稳定状态温度范围 200-1050℃
温度测量精度 ±0.2℃
温度控制重复性 ±1℃
温度控制**度 ±1℃
温度均匀性 ±2℃
温度状态工艺时间 7-32 S(200-1050℃)
快升温速率 30℃/S(可按需定制)
降温速率 1-200℃(將試樣移出加熱區域或通氮氣可加快降溫)
温度控制模式 智能模糊PID全闭环控制
触摸屏 尺寸 7寸LCD 工控
物理指标 功率 27 Kw
额定电压 AC380V,50/60Hz
测温元件型号 K型热电偶
石英管规格 Φ150*1500
真空度 选配分子泵真空度可达6*10-3Pa
抽气端口尺寸 KF40或Φ6mm
进气端口尺寸 Φ6mm
冷却方式 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2)
外形尺寸 深600*宽1520*高700
设备重量 100Kg


陝公網安備 61019002000531號